본 연구에서는 근접장 마이크로파 현미경을 이용하여 NaCl 용액의 농도검출센서로의 응용 가능성에 대해 알아보았다. 근접장 마이크로파 현미경은 높은 Q 인자를 갖는 유전체 공진기를 이용하여 고감도 특성을 갖는다. 측정과정에저 탐침이 액체 시료표면에 근접했을 때 발생할 수 있는 표면장력의 영향을 피하기 위해 튜닝폭 피드백시스템을 이용하여 탐침과 시료 사이의 거리를 $1{mu}m$로 유지하였다. 측정은 4GHz에서 이루어졌으며 NaCl 용액의 농도 변화, 농도 및 온도 변화, 부피 변화에 따른 마이크로파 반사계수($S_{11}$)을 관측하여 농도를 측정하였다. 또한 선택적 반응 감도 특성을 알아보기 위하여 NaCl과 글루코스의 혼합용액에서 글루코스의 농도 및 NaCl 용액의 농도를 관측하였다.
We observed the NaCl concentration of solutions using a near-field microwave microprobe(NFMM). Instead of the usual technique, we take advantage of the noncontact evaluation capabilities of a NFMM. A NFMM with a high Q dielectric resonator allows observation of small variations of the permittivity due to changes in the NaCl concentration. The changes of NaCl concentration due to a change of permittivity of the NaCl solution were investigated by measuring the microwave reflection coefficient $S_{11}$ of the resonator. The NaCl sensor consisted of a dielectric resonator coupled to a probe tip at an operating frequency of about f=4 GHz. The change of the NaCl concentration is directly related to the change of the reflection coefficient due to a near field electromagnetic interaction between the probe tip and the NaCl solution. In order to determine the probe selectivity, we measured a mixture solution of NaCl and glucose.
