- A Dual-mode Pico-positioning System using Active Aerostatic Coupling
- A Dual-mode Pico-positioning System using Active Aerostatic Coupling
- ㆍ 저자명
- Mizumoto. Hiroshi,Yabuta. Yoshito,Arii. Shiro,Yabuya. Makoto,Tazoe. Yoichi
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|8권 2호|pp.32-37 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
