Metallo-organic decomposition(MOD)법으로 willemite 녹색 형광체를 합성하였고, 열처리 온도($800{sim}1100^{circ}C$) 및 Mn 활성제 농도($4{sim}12 mol%$)에 따른 발광특성과 상합성에 대해 조사하였다. 254nm 여기원을 사용한 측정에서 형광체의 열처리 온도가 $800^{circ}C$에서 $1000^{circ}C$로 증가함에 따라 상대 발광 피크강도는 크게 증가하였고, XRD 분석 결과 $1000^{circ}C$ 이상의 열처리 온도에서 전형적인 willemite 결정 구조를 보여 주었다. $1000^{circ}C$의 온도로 열처리한 willemite 형광체는 Mn 활성제 농도가 8mol% 일 때 최대 발광 강도를 나타내었으며 10mol% 이상에서는 발광 강도가 급격히 저하되는 농도 ??칭 현상이 관찰되었다. SEM 분석 결과 형광체 입자 형상은 구형에 가까웠으며 $1000^{circ}C$에서 소성된 형광체 입자 크기는 약 $0.4{sim}0.5{mu}m$ 이었다.
Willemite green phosphor powders have been prepared by the metallo-organic decomposition (MOD) method, and the photoluminescence and phase formation were studied as a function of both the firing temperature ($800{sim}1100^{circ}C$) and the concentration of Mn activator ($4{sim}12 mol%$). Under 254 nm excitation source, the emission intensity of the phosphors increased with increasing the firing temperature from 800 to $1000^{circ}C$. From the XRD analysis, the powders heat-treated above $1000^{circ}C$ showed willemite crystal structure. The maximum emission intensity was obtained far the phosphors heat-treated at $1000^{circ}C$ with 8 mol% of Mn content. The concentration quenching was occurred when the Mn concentration exceeded 10 mol%. The phosphor particles showed spherical shapes with the average size of $0.4{sim}0.5{mu}m$ by the SEM morphology.
