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a-Si:H Image Sensor for PC Scanner
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  • a-Si:H Image Sensor for PC Scanner
  • a-Si:H Image Sensor for PC Scanner
저자명
Hur. Chang-Wu
간행물명
International journal of maritime information and communication sciences
권/호정보
2007년|5권 2호|pp.116-120 (5 pages)
발행정보
한국정보통신학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, the image sensor using the a-Si:H TFT is proposed. The optimum amorphous silicon thin film is deposited using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). TFT and photodiode both with the thin film are fabricated and form image sensor. The photodiode shows that $I_{dark};is;{sim}10^{-13};A,;I_{photo};is;{sim}10^{-9};A;and;I_{photo}/I_{dark};is;{sim}10^4$, respectively. In the case of a-Si:H TFT, it indicates that $I_{on}/I_{off};is;10^6$, the drain current is a few ${mu}A;and;V_{th};is;2{sim}4$ volts. For the analysis on the fabricated image sensor, the reverse bias of -5 volts in ITO of photodiode and $70 {mu}sec$ pulse in the gate of TFT are applied. The image sensor with good property was conformed through the measured photo/dark current.