본 논문에서는 표면저항을 이용한 차폐성능 및 다층박막의 광학설계 후, roll- to-roll DC 스퍼터링 공정을 이용하여 PET(Polyethylene terephtalate) 필름위에 투명 전도성 산화물 박막인 ITO와 금속을 다층박막 구조(Multilayer)로 균질하게 증착한 전파차폐필름을 1m 넓이로 제작하고 광투과 및 전파차폐특성을 조사하였다. 각 층의 면저항 및 두께에 따라서 전자파 차폐성능과 광투과도를 최적화 할 수 있도록 설계되었고, 그 조건에 따라 필름을 제작하였다. 제작된 전파차폐필름은 2-18GHz 대역에서 99.5%의 차폐성능을 나타내었으며, 400-700 nm에서의 전광선 투과율은 83.1%로 우수한 시인성과 전파차폐특성을 보유하였다.
Multilayer transparent electromagnetic wave shielding film with 1 m wide, was fabricated by using roll to roll DC plasma coating with ITO and Ag layer on PET substrate. By optimizing properly the design parameters, such as a processing condition, the surface resistance and the thickness of each layers, the homogeneous film could be obtained. Electromagnetic wave shielding film showed the high shielding effectiveness of 23dB(99.5%) in 2-18 GHz range and the transmittance of 83.1% in 400-700nm
