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AFM에서의 정량적 힘 측정을 위한 마이크로 캔틸레버의 강성 교정
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  • AFM에서의 정량적 힘 측정을 위한 마이크로 캔틸레버의 강성 교정
저자명
김민석,최재혁,김종호,박연규,Kim. Min-Seok,Choi. Jae-Hyuk,Kim. Jong-Ho,Park. Yon-Kyu
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2007년|24권 6호|pp.96-104 (9 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Calibration of the spring constants of atomic force microscopy (AFM) cantilevers is one of the issues in biomechanics and nanomechanies for quantified force metrology at pieo- or nano Newton level. In this paper, we present an AFM cantilever calibration system: the Nano Force Calibrator (NFC), which consists of a precision balance and a one-dimensional stage. Three types of AFM cantilevers (contact and tapping mode) with different shapes (beam and V) and spring constants (42, 1, 0.06 N $m^{-1}$) are investigated using the NFC. The calibration results show that the NFC can calibrate the micro cantilevers ranging from 0.01 ${sim}$ 100 N $m^{-1}$ with relative uncertainties of less than 2%.