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Effects of Intermediate Layer in DLC Thin Film on Al2O3 for Improvement of High Temperature Strength
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  • Effects of Intermediate Layer in DLC Thin Film on Al2O3 for Improvement of High Temperature Strength
  • Effects of Intermediate Layer in DLC Thin Film on Al2O3 for Improvement of High Temperature Strength
저자명
Ok. Chul-Ho
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2007년|8권 3호|pp.125-130 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

DLC coating on ceramics is very useful for manufacturing the materials with hardness and low friction. Adhesion of DLC thin film on ceramics, on the other hand, is usually very weak. Adhesion of DLC film depends on many parameters such as contamination and chemical bonding between thin film and substrate. In this study, adhesion of DLC film on ceramics was improved by the intermediate layer when the plasma immersion ion deposition (PIID) technique was applied. It is found that the chemical composition and the thickness of intermediate layer have significantly an effect on the adhesion of DLC thin film on $Al_2O_3$.