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열 대류 가속도계의 성능향상에 관한 연구
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  • 열 대류 가속도계의 성능향상에 관한 연구
저자명
윤성기,오준석,Youn. Sung-Kie,Oh. Jun-Seok
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2007년|31권 5호|pp.570-577 (8 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A micromachined convective accelerometer is a recently developed device. Typical micromachined accelerometers use a solid proof mass for measuring acceleration. But a micromachined convective accelerometer does not use a solid proof mass. A micromachined convective accelerometer is composed of a heating resistor and temperature sensors. This device measures acceleration by using convective heat transfer phenomenon. Therefore characteristics of a micromachined convective accelerometer are different as compared with typical micromachined accelerometer. In this research, we analyze the convective accelerometer by using transient convective heat transfer analysis. Based on the results of a convective accelerometer, we propose a new model which has improved performance.