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롤투롤 스퍼터 시스템을 이용하여 PET 기판위에 성막 시킨 ITO 박막의 특성 연구
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  • 롤투롤 스퍼터 시스템을 이용하여 PET 기판위에 성막 시킨 ITO 박막의 특성 연구
저자명
조성우,최광혁,배정혁,문종민,정진아,정순욱,박노진,김한기,Cho. Sung-Woo,Choi. Kwang-Hyuk,Bae. Jung-Hyeok,Moon. Jong-Min,Jeong. Jin-A,Jeong. Soon-Wook,Park
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 1호|pp.32-37 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The electrical, optical, structural and surface properties of an indium tin oxide (ITO) film grown on a flexible PET substrate using a specially designed roll-to-roll (R2R) sputtering system as a function of the DC power, $Ar/O_2$ flow ratio, and rolling speed is reported. It was observed that both the electrical and optical properties of the ITO film on the PET substrate were critically dependent on the $Ar/O_2$ flow ratio. In addition, x-ray diffraction examination results showed that the structure of the ITO film on the PET substrate was an amorphous structure regardless of the DC power and the $Ar/O_2$ flow ratio due to a low substrate temperature, which was maintained constant by a main cooling drum. Under optimized conditions, ITO film with resistivity of $6.44{ imes}10^{-4}{Omega}-cm$ and transparency of 86% were obtained, even when prepared at room temperature. Furthermore, bending test results exhibited that R2R-grown ITO film had good flexibility which would be applicable to flexible displays and solar cells.