기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Au stud 범프의 금속간화합물 성장거동에 미치는 시효처리의 영향
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Au stud 범프의 금속간화합물 성장거동에 미치는 시효처리의 영향
저자명
임기태,이장희,김병준,이기욱,이민재,주영창,박영배,Lim. Gi-Tae,Lee. Jang-Hee,Kim. Byoung-Joon,Lee. Ki-Wook,Lee. Min-Jae,Joo. Young-Chang,Park. Young-Ba
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2008년|18권 1호|pp.45-50 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Microstructural evolution and the intermetallic compound (IMC) growth kinetics in an Au stud bump were studied via isothermal aging at 120, 150, and $180^{circ}C$ for 300hrs. The $AlAu_4$ phase was observed in an Al pad/Au stud interface, and its thickness was kept constant during the aging treatment. AuSn, $AuSn_2,;and;AuSn_4$ phases formed at interface between the Au stud and Sn. $AuSn_2,;AuSn_2/AuSn_4$, and AuSn phases dominantly grew as the aging time increased at $120^{circ}C,;150^{circ}C,;and;180^{circ}C$, respectively, while $(Au,Cu)_6Sn_5/Cu_3Sn$ phases formed at Sn/Cu interface with a negligible growth rate. Kirkendall voids formed at $AlAu_4/Au$, Au/Au-Sn IMC, and $Cu_3Sn/Cu$ interfaces and propagated continuously as the time increased. The apparent activation energy for the overall growth of the Au-Sn IMC was estimated to be 1.04 eV.