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대면적 3 차원 마이크로 형상제작을 위한 스테이지 스캐닝 시스템을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정 개발
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  • 대면적 3 차원 마이크로 형상제작을 위한 스테이지 스캐닝 시스템을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정 개발
저자명
임태우,손용,이신욱,공홍진,박상후,양동열,Lim. Tae-Woo,Son. Yong,Yi. Shin-Wook,Kong. Hong-Jin,Park. Sang-Hu,Yang. Dong-Yol
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2008년|25권 1호|pp.122-129 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Two-photon stereolithography is recognized as a promising process for the fabrication of three-dimensional (3D) microstructures with 100 nm resolution. Generally, beam-scanning system has been used in the conventional process of two-photon stereolithography, which is limited to the fabrication of micro-prototypes in small area of several tens micrometers. For the applications to 3D high-functional micro-devices, the fabrication area of the process is required to be enlarged. In this paper, large-area two-photon stereolithography (L-TPS) employing stage scanning system has been developed. Continuous scanning method is suggested to improve the fabrication speed and parameter study is conducted. An objective lens of high numerical aperture (N.A.) and high strength material were employed in this system. Through this work, 3D microstructures of $600*600*100;{mu}m$ were fabricated.