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마이크로 압전변압기 제작 및 전기-기계적 특성 분석
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  • 마이크로 압전변압기 제작 및 전기-기계적 특성 분석
저자명
김성곤,서영호,황경현,최두선,Kim. Seong-Kon,Seo. Young-Ho,Whang. Kyung-Hyun,Choi. Doo-Sun
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
권/호정보
2008년|32권 3호|pp.231-234 (4 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

For the applications which need a micro-power supply such as thin and flat displays, micro-robot, and micro-system, it is especially necessary to integrate the passive components because they typically need more than 2/3 of the space of the conventional circuit. Therefore, we have designed and fabricated a novel piezoelectric micro transformer using the PZT thin film and MEMS technologies for application to the energy supply device of the micro-systems. The dimensions of the micro-transformer is $1000{mu}m;{ imes};400{mu}m;{ imes};4.8{mu}m$ $(length{ imes}width{ imes}thickness)$. The dynamic displacement of around $9.2{pm}0.064{mu}m$ was observed at 10 V. The dynamic displacement varied almost linearly with applied voltage. The average voltage gain (step-up ratio) was approximately 2.13 at the resonant frequency $(F_r=8.006KHz)$ and load resistance $(R_L)$ of 1 $M{Omega}$.