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Recent Development in Polymer Ferroelectric Field Effect Transistor Memory
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  • Recent Development in Polymer Ferroelectric Field Effect Transistor Memory
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저자명
Park. Youn-Jung,Jeong. Hee-June,Chang. Ji-Youn,Kang. Seok-Ju,Park. Cheol-Min
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2008년|8권 1호|pp.51-65 (15 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The article presents the recent research development in polymer ferroelectric non-volatile memory. A brief overview is given of the history of ferroelectric memory and device architectures based on inorganic ferroelectric materials. Particular emphasis is made on device elements such as metal/ferroelectric/metal type capacitor, metal-ferroelectric-insulator-semiconductor (MFIS) and ferroelectric field effect transistor (FeFET) with ferroelectric poly(vinylidene fluoride) (PVDF) and its copolymers with trifluoroethylene (TrFE). In addition, various material and process issues for realization of polymer ferroelectric non-volatile memory are discussed, including the control of crystal polymorphs, film thickness, crystallization and crystal orientation and the unconventional patterning techniques.