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50nm 급 낸드플래시 메모리에서의 Program/Erase 스피드 측정을 통한 트랩 생성 분석
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  • 50nm 급 낸드플래시 메모리에서의 Program/Erase 스피드 측정을 통한 트랩 생성 분석
저자명
김병택,김용석,허성회,유장민,노용한,Kim. Byoung-Taek,Kim. Yong-Seok,Hur. Sung-Hoi,Yoo. Jang-Min,Roh. Yong-Han
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 4호|pp.300-304 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A novel characterization method was investigated to estimate the trap generation during the program /erase cycles in nand flash memory cell. Utilizing Fowler-Nordheim tunneling current, floating gate potential and oxide electric field, we established a quantitative model which allows the knowledge of threshold voltage (Vth) as a function of either program or erase operation time. Based on our model, the derived results proved that interface trap density (Nit) term is only included in the program operation equation, while both Nit and oxide trap density (Not) term are included in the erase operation equation. The effectiveness of our model was tested using 50 nm nand flash memory cell with floating gate type. Nit and Not were extracted through the analysis of Program/Erase speed with respect to the endurance cycle. Trap generation and cycle numbers showed the power dependency. Finally, with the measurement of the experiment concerning the variation of cell Vth with respect to program/erase cycles, we obtained the novel quantitative model which shows similar results of relationship between experimental values and extracted ones.