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대면적 평판 디스플레이용 유리기판의 처짐 측정장치 개발
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  • 대면적 평판 디스플레이용 유리기판의 처짐 측정장치 개발
  • Development of Measurement System for Deflection of the Large-Size FPD
저자명
김숙한,김태식,이응기,Kim. Sook-Han,Kim. Tae-Sik,Lee. Eung-Ki
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2008년|7권 4호|pp.1-5 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

There is a need to enlarge the mother glass substrate in OLED to raise its productivity and to realize OLED TV. On the other hand, some difficulties may arise regarding the deflection of a large glass substrate during its handling operation due to its thinness $(0.5sim0.7t)$, which is not even enough to allow it to stand its own mass. This thesis proposes a conceptual plan for the application of the clamping- and bending-end conditions to the glass substrate handler. To verify proposed plan, the non-contact 3 dimensional measuring instrument is developed. The composition of the 3 dimensional measuring instrument measures shape of the product using X-Y stage robot and laser distance sensor. X-Y stage robot and laser distance sensor are controlled by LabVIEW language. To calibrate measuring instrument, the direction conversion of the Euler angle was used. In order to confirm deflection of the glass substrate, the experiment was carried out at the bending end boundary condition and the proposed effect was verified.