- 고효율 AC PDP용 MgO 보호막 형성을 위한 중성빔 보조 증착 장비에 관한 연구
- A Study on the Equipment of Neutral Beam Assisted Deposition for MgO Protective Layer of High Efficient AC PDP
- ㆍ 저자명
- 이조휘,권상직,Li. Zhao-Hui,Kwon. Sang-Jik
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|7권 2호|pp.63-67 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
