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고효율 AC PDP용 MgO 보호막 형성을 위한 중성빔 보조 증착 장비에 관한 연구
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  • 고효율 AC PDP용 MgO 보호막 형성을 위한 중성빔 보조 증착 장비에 관한 연구
  • A Study on the Equipment of Neutral Beam Assisted Deposition for MgO Protective Layer of High Efficient AC PDP
저자명
이조휘,권상직,Li. Zhao-Hui,Kwon. Sang-Jik
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2008년|7권 2호|pp.63-67 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The MgO protective layer plays an important role in plasma display panels (PDPs). Our previous work demonstrated that the properties of MgO thin film could be improved, which were deposited by ion beam assisted deposition (IBAD). However arc discharge always occurs during the IBAD process. To avoid this problem, oxygen neutral beam assisted deposition (NBAD) is used to deposit MgO thin films in this paper. The energy of the oxygen neutral beam was used as the parameter to control the deposition. The experimental results showed that the oxygen neutral beam energy was effective in determining in F/$F^+$ centers, crystal orientation, surface morphology of the MgO thin film, and the discharge characteristics of AC PDP. The lowest firing voltage $(V_f)$ and the highest secondary electron emission coefficient $(gamma)$ were obtained when the neutral beam energy was 300 eV.