본 논문에서는 comb drive를 이용하여 수평 방향 저항 접촉 방식의 RF MEMS 스위치 개발을 소개한다. 무선통신 트랜시버에서 사용되는 FEM에서 사용될 수 있는 높은 안전성과 좋은 RF 특성을 가지는 스위치의 개발을 목표로 한다. 따라서 작은 삽입손실 특성을 가지기 위해 comb drive를 이용하여 큰 접촉 힘을 발생시키고, 큰 격리도 특성을 가지기 위해 스위치 off 상태에서 작은 정전용량을 갖도록 한다. 그리고 단결정 실리콘을 스위치의 구조물로 사용함으로써 기계적인 안전성을 갖도록 한다. 개발된 RF MEMS 스위치는 26 V의 동작 전압을 가지며, 2 GHz에서 0.44 dB 이하의 삽입손실과 60 dB 이상의 격리도 특성을 가진다.
This paper presents a lateral resistive contact RF MEMS switch using comb drive. Our goal was to fabricate the RF MEMS switch with high reliability and good RF characteristics for front end module in wireless transceiver system. Therefore, comb drive is used for large contact force in order to achieve low insertion loss and small off-state capacitance in order to achieve high isolation. The single crystalline silicon is used for mechanical reliability. As a result, the developed switch showed insertion loss less than 0.44 dB at 2 GHz, isolation greater than 60 dB, and low actuation voltage at 26 V.
