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펄스폭 변조를 이용한 정전형 액추에이터의 구동 및 위치 검출 알고리즘
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  • 펄스폭 변조를 이용한 정전형 액추에이터의 구동 및 위치 검출 알고리즘
저자명
민동기,전종업,Min. Dong-Ki,Jeon. Jong-Up
간행물명
한국공작기계학회논문집
권/호정보
2008년|17권 3호|pp.65-70 (6 pages)
발행정보
한국공작기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Capacitive position sensing with modulation technique is widely used in electrostatic actuator applications. To maximize the electrostatic force and the position-sensing gain, capacitors for driving and capacitors for sensing are shared, i.e, after applying the driving voltage with high-frequency modulating signals using op amps, the position is demodulated from the modulated signal. In high-voltage applications, however, low bandwidth of a high-voltage op amp hinders adding the high-frequency modulating signal to the driving voltage. In this paper, new and very simple driving and sensing method is proposed, in which the pulse-width modulated driving voltage eliminates the need of the high-frequency modulating signal for position sensing. This new algorithm is proved by the simulation results using Matlab/SIMULINK.