PDP(plasma display panel)를 비롯한 대형 디스플레이는 외부의 광이 디스플레이 내부로 입사될 경우 화질 및 명암이 저하된다. 이 문제를 해결하기 위해서 최근 관련 산업체에서는 $1;m^2$급의 대형 투명필름 위에 수십${sim}$수백 ${mu}m$ 수준의 미세 패턴을 새겨서 외부 광을 차단하는 contrast 향상 필름을 개발 중이다. 이 필름이 디스플레이에 적용되려면 가장 중요한 것이 패턴의 균일도 및 이물 여부이다. 하지만 기존의 검사장비로는 $1;m^2$급의 대형 광학 필름을 $100;{mu}m$ 수준의 분해능으로 짧은 시간 내에 측정할 수 없다. 본 연구에 서는 이것이 가능한 검사장비를 제안, 구축하며 실험을 통해 평가한다.
The light from the exterior considerably deteriorates the performance of displays including PDP (plasma display panel). Thus semi-conductor industries have developed a special optical film that can block or absorb the exterior light. In this paper, we propose a new inspection system for tracing the defects of the film. Our system is able to inspect a $1.5;m;{ imes};1;m$ area for 10 sec with $127;{mu}m;{ imes};50{mu}m$ spatial resolution.
