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반사경 측정을 위한 타워 방식의 Fold Mirror를 이용한 Fizeau 간섭계 시스템 구성
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  • 반사경 측정을 위한 타워 방식의 Fold Mirror를 이용한 Fizeau 간섭계 시스템 구성
저자명
이응석,이기암,김옥현,Lee. Eung-Suk,Lee. Ki-Am,Kim. Ok-Hyun
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2008년|25권 8호|pp.21-28 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Fizeau interferometer is used for inspecting the lens surface profile accurately. This study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for large area lithography or astronomical purpose. A tower type Fizeau interferometer is designed and set up in horizontally with a 45$^{circ}$ fold mirror which makes easy to align the optical path of heavy interferometer system. To align the optical path, a five-axes stage for the interferometer is required. This study shows a method of the 45$^{circ}$ fold mirror alignment by using a three-axis stage instead of adjusting the interferometer itself or measuring object. This system will be installed on the large optics polishing machine during the manufacturing process as an on-machine inspection system.