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새로운 가이드 튜브를 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
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  • 새로운 가이드 튜브를 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구
저자명
손창현,최정우,이기섭,황현희,최종문,구갑렬,이원재,신병철,Son. Chang-Hyun,Choi. Jung-Woo,Lee. Gi-Sub,Hwang. Hyun-Hee,Choi. Jong-Mun,Ku. Kap-Ryeol,Lee. Won
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2008년|21권 9호|pp.795-800 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A sublimation method using the SiC seed crystal and SiC powder as the source material is commonly adopted to grow SiC bulk single crystal. However, it has proved to be difficult to achieve the high quality crystal and the process reliability because SiC single crystal should be grown at very high temperature in closed system. The present research was focused to improve SiC crystal quality grown by PVT method through using the new inner guide tube. The new inner guide tube was designed to prevent the enlargement of polycrystalline region into single crystalline region and to enlarge the diameter of SiC single crystal. The 6H-SiC crystals were grown by conventional PVT process. The seed adhered on seed holder and the high purity SiC source materials are placed on opposite side in sealed graphite crucible surrounded by graphite insulation. The SiC bulk growth was conducted around 2300 $^{circ}C$ of growth temperature and 50 mbar in an argon atmosphere of growth pressure. The axial thermal gradient across the SiC crystal during the growth was estimated in the range of 15${sim}$20 $^{circ}C$/cm.