- 진공증착법으로 제조된 PVDF 유기박막의 압전 센서 응답 특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 박수홍,Park. Soo-Hong
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|17권 5호|pp.448-454 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
본 논문의 목적은 진공증착법을 이용한 $eta$-PVDF($eta$-Polyvinylidene fluoride) 유기 박막의 제조와 제조된 유기 박막의 압전 특성을 연구하는데 있다. 진공 증착은 증발원 온도 $270^{circ}C$, 인가 전계 142.4kV/cm, 진공도 $2.0{ imes}10^{-5}Torr$에서 실시하였다. 기판 온도의 증가에 따라서 $eta$형태의 PVDF 함유량은 72%에서 95.5%로 증가함을 알 수 있었다. 힘 모우멘트를 $1.372{ imes}10^{-5}N{cdot}m$에서 $39.2{ imes}10^{-5}N{cdot}m$로 변화시킨 응답특성의 경우, 출력전압은 1.39V에서 7.04V로 증가하였다.
The purpose of this paper is to discuss the fabrication of $eta$-PVDF($eta$-Polyvinylidene fluoride, ${eta}-PVF_2$) organic thin films through the vapor deposition method and to investigate the piezoelectric properties of the organic thin films produced. Vapor deposition was performed under the following conditions : the temperature of evaporator, the applied electric field and the pressure of reaction chamber were $270^{circ}C$, 142.4 kV/cm and $2.0{ imes}10^{-5}Torr$, respectively. The results showed that the amount of $eta$-form PVDF increased from 72 % to 95.5 % with an increase in the substrate temperature. In the case of a sensor response characteristic by varying the force moment from $1.372{ imes}10^{-5}N{cdot}m$ to $39.2{ imes}10^{-5}N{cdot}m$, the output voltage increased from 1.39V to 7.04V.