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Direct Measurement of Spindle Motion Error Using a Regular Crystalline Lattice and a Scanning Tunneling Microscope
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  • Direct Measurement of Spindle Motion Error Using a Regular Crystalline Lattice and a Scanning Tunneling Microscope
  • Direct Measurement of Spindle Motion Error Using a Regular Crystalline Lattice and a Scanning Tunneling Microscope
저자명
Chaikool. Patamaporn,Aketagawa. Masato,Okuyama. Eiki
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2008년|9권 4호|pp.11-15 (5 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Metrology tools with the ability to measure spindle motion error on the order of a nanometer are required due to recent advances in nanotechnology. We propose a direct measurement method for the radial motion error of a precision spindle using a regular crystalline lattice and a scanning tunneling microscope (STM). A highly oriented pyrolytic graphite (HOPG) crystal combined with an STM is used as a two-dimensional reference scale. The measurement principle and the preliminary experimental results are discussed in this article. The preliminary experimental results demonstrated that the proposed method has the capability to incorporate a two-dimensional encoder to measure the spindle motion error.