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Hole 구조 상변화 메모리의 전기 및 열 특성
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  • Hole 구조 상변화 메모리의 전기 및 열 특성
저자명
최홍규,장낙원,김홍승,이성환,이동영,Choi. Hong-Kyw,Jang. Nak-Won,Kim. Hong-Seung,Lee. Seong-Hwan,Yi. Dong-Young
간행물명
한국마린엔지니어링학회지
권/호정보
2009년|33권 1호|pp.131-137 (7 pages)
발행정보
한국마린엔지니어링학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we have manufactured hole type PRAM unit cell using phase change material $Ge_2Sb_2Te_5$. The phase change material $Ge_2Sb_2Te_5$ was deposited on hole of 500 nm size using sputtering method. Reset current of PRAM unit cell was confirmed by measuring R-V characteristic curve. Reset current of manufactured hole type PRAM unit cell is 15 mA, 100 ns. And electro and thermal characteristics of hole type PRAM unit cell were analyzed by 3-D finite element analysis. From simulation temperature of PRAM unit cell was $705^{circ}C$.