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바이오센서 개발을 위한 음향 브래그 반사층을 가지는 체적탄성파 공진기의 공진특성 분석
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  • 바이오센서 개발을 위한 음향 브래그 반사층을 가지는 체적탄성파 공진기의 공진특성 분석
저자명
김희영,김기복,하태훈,김용일,이진민,김만수,Kim. Hee-Young,Kim. Ki-Bok,Ha. Tae-Hoon,Kim. Yong-Il,Lee. Jin-Min,Kim. Man-Soo
간행물명
바이오시스템공학
권/호정보
2009년|34권 4호|pp.260-268 (9 pages)
발행정보
한국농업기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

As a basic study to develop a high sensitive biosensor using film bulk acoustic resonator, the mathematical model for analyzing the resonance characteristics of bulk acoustic resonator with acoustic Bragg reflectors was investigated. The simulation results due to the number of acoustic Bragg reflectors with low and high acoustic impedance materials were compared with the experimental results for 1, 2.25 and 5 MHz of PZT based bulk acoustic resonators with various acoustic Bragg reflectors. At the fabricated bulk acoustic resonator with an odd number of acoustic Bragg reflectors, low and high acoustic impedance materials in sequence under the bottom electrode showed better resonance characteristics than even number of acoustic Bragg reflectors. The changes of resonance frequencies due to the increase of number of acoustic Bragg reflectors by simulation and experiment, respectively showed approximately similar tendency but some differences in input impedance between the experiment and simulation were found. The derived mathematical model for describing the resonance characteristics of the bulk acoustic resonator with acoustic Bragg reflector will be available for analyzing the design parameters for development of biosensor using bulk acoustic resonator.