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유연성 광전도 CdS 박막의 증착조건에 따른 전기적 특성 및 신뢰성 평가 연구
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  • 유연성 광전도 CdS 박막의 증착조건에 따른 전기적 특성 및 신뢰성 평가 연구
저자명
허성기,조현진,박경우,안준구,윤순길,Hur. Sung-Gi,Cho. Hyun-Jin,Park. Kyoung-Woo,Ahn. Jun-Ku,Yoon. Soon-Gil
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 12호|pp.1023-1027 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Cadmium sulfide (CdS) thin film for flexible optical device applications were prepared at $H_2/(Ar+H_2)$ flow ratios on polyethersulfon (PES) flexible polymer substrates at room temperature by radio frequency magnetron sputtering technique. The CdS thin films deposited at room temperature showed a (002) preferred orientation and the smooth surface morphologies. Films deposited at a hydrogen flow ratio of 25% exhibited a photo- and dark-sheet resistance of about 50 and $2.7;{ imes};10^5;{Omega}/square$, respectively. From the result of the bending test, CdS films exhibit a strong adhesion with the PES polymer substrates and the $Al_2O_3$ passivation layer deposited on the CdS films only shows an increase of the resistance of 8.4% after exposure for 120 h in air atmosphere.