- 반도체 제조 공정용 SiC 소재 기술
- ㆍ 저자명
- 조경선,윤성호,정훈,채수호,임광영,김영욱,박상환,Jo. Gyeong-Seon,Yun. Seong-Ho,Jeong. Hun,Chae. Su-Ho,Im. Gwang-Yeong,Kim. Yeong-Uk,Park. Sang-Hwan
- ㆍ 간행물명
- 세라미스트
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|12권 1호|pp.33-48 (16 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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