- 비이송식 플라즈마 토치 구조에 따른 열 플라즈마 특성 시험
- An Experimental Analysis on the Thermal Plasma Characteristics to the Geometry in Non-Transferred Torch
- ㆍ 저자명
- 정안목,전의식,Jeong. An-Mok,Jun. Euy-Sik
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|8권 4호|pp.89-94 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
