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$Ar/O_2$비에 따른 $Sr_{0.7}Bi_{2.3}Nb_2O_9$ 박막의 구조 및 영향
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  • $Ar/O_2$비에 따른 $Sr_{0.7}Bi_{2.3}Nb_2O_9$ 박막의 구조 및 영향
  • Structure and Influence of $Sr_{0.7}Bi_{2.3}Nb_2O_9$ Thin Film with $Ar/O_2$ Ratio
저자명
김진사,최운식,Kim. Jin-Sa,Choi. Woon-Shik
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2009년|8권 2호|pp.11-14 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The $Sr_{0.7}Bi_{2.3}Nb_2O_9$(SBN) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/Ti/$SiO_2$/Si) using RF sputtering method at various $Ar/O_2$ ratio. We investigated the effect of deposition condition(specially $Ar/O_2$ ratio) on the structural properties of SBN thin film. As $Ar/O_2$ ratio was increased, the peaks in the XRD pattern became more sharp. Also, the peaks(008)(115)(220) in 80/20 of $Ar/O_2$ ratio were suddenly appeared. The optimum of the rougness showed about 4.33 nm in 70/30 of $Ar/O_2$ ratio. The crystallinity of SBN thin films were increased with the increase of $Ar/O_2$ ratio. Also, Deposition rate of SBN thin films was about 4.17 nm/min in 70/30 of $Ar/O_2$ ratio. The capacitance of SBN thin films were increased with the increase of $Ar/O_2$ ratio.