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필터 프레싱으로 제조한 대형 알루미나 세라믹스 성형체 및 소결체의 특성
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  • 필터 프레싱으로 제조한 대형 알루미나 세라믹스 성형체 및 소결체의 특성
저자명
이현권,조경식,장민혁,장철우,김상모,김미영,Lee. Hyun-Kwuon,Cho. Kyeong-Sik,Jang. Min-Hyeok,Jang. Chul-Woo,Kim. Sang-Mo,Kim. Mi-Young
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2009년|46권 3호|pp.306-312 (7 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The size of various alumina ceramics used in semiconductor and display industry is also required to increase with increase in wafer and panel size. In this research, large alumina ceramics was fabricated by filter pressing of alumina slurry using commercial powder and thereafter sintering at $1600^{circ}C$ in gas furnace. The characteristics of large alumina ceramics thereby were compared to those of small alumina ceramics prepared by pressure forming such as uniaxial pressing and CIP. Careful control of properties of alumina slurry and filter pressing made the fabrication of large alumina ceramics possible, and its characteristics were equivalent to those of small alumina ceramics. The large alumina ceramics, prepared by sintering the green body of 63% relative density at $1600^{circ}C$, exhibited both dense microstructure corresponding to 98.5% of relative density and 99.8% of high purity as in starting powder.