- 전자빔 패터닝과 double-angle 그림자 증착법을 이용한 sub-micron 크기의 $Al-AlO_x-Al$ 터널접합 제작공정개발
- Fabrication of Sub-Micron Size $Al-AlO_x-Al$ Tunnel Junction using Electron-Beam Lithography and Double-Angle Shadow Evaporation Technique
- ㆍ 저자명
- 최재원,류시정,박정환,류상완,김정구,송운,정연욱,Rehmana. M.,Choi. J.W.,Ryu. S.J.,Park. J.H.,Ryu. S.W.,Khim. Z.G.,Song. W.,Chong. Y.
- ㆍ 간행물명
- Progress in superconductivity
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|10권 2호|pp.99-102 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국초전도학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
