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전자빔 패터닝과 double-angle 그림자 증착법을 이용한 sub-micron 크기의 $Al-AlO_x-Al$ 터널접합 제작공정개발
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  • 전자빔 패터닝과 double-angle 그림자 증착법을 이용한 sub-micron 크기의 $Al-AlO_x-Al$ 터널접합 제작공정개발
  • Fabrication of Sub-Micron Size $Al-AlO_x-Al$ Tunnel Junction using Electron-Beam Lithography and Double-Angle Shadow Evaporation Technique
저자명
최재원,류시정,박정환,류상완,김정구,송운,정연욱,Rehmana. M.,Choi. J.W.,Ryu. S.J.,Park. J.H.,Ryu. S.W.,Khim. Z.G.,Song. W.,Chong. Y.
간행물명
Progress in superconductivity
권/호정보
2009년|10권 2호|pp.99-102 (4 pages)
발행정보
한국초전도학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We report our development of the fabrication process of sub-micron scale $Al-AlO_x-Al$ tunnel junction by using electron-beam lithography and double-angle shadow evaporation technique. We used double-layer resist to construct a suspended bridge structure, and double-angle electron-beam evaporation to form a sub-micron scale overlapped junction. We adopted an e-beam insensitive resist as a bottom sacrificing layer. Tunnel barrier was formed by oxidation of the bottom aluminum layer between the bottom and top electrode deposition, which was done in a separate load-lock chamber. The junction resistance is designed and controlled to be 50 $Omega$ to match the impedance of the transmission line. The junctions will be used in the broadband shot noise thermometry experiment, which will serve as a link between the electrical unit and the thermodynamic unit.