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고주파유도결합에 의해 여기된 물플라즈마로부터 수소생산에서 메탄가스 첨가효과
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  • 고주파유도결합에 의해 여기된 물플라즈마로부터 수소생산에서 메탄가스 첨가효과
저자명
김대운,정용호,추원일,장수욱,이봉주,김영호,이승헌,권성구,Kim. Dae-Woon,Jung. Yong-Ho,Choo. Won-Il,Jang. Soo-Ouk,Lee. Bong-Ju,Kim. Young-Ho,Lee. Seung-Heu
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 5호|pp.448-454 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Hydrogen was produced from water plasma excited in high frequency (HF) inductively coupled tubular reactor. Mass spectrometry was used to monitor gas phase species at various process conditions, Water dissociation rate depend on the process parameters such as ICP power, $H_{2}O$ flow-rate and process pressure, Water dissociation percent in ICP reactor decrease with increase of chamber pressure, while increase with increase of ICP power and $H_{2}O$ flow rate. The effect of $CH_4$ gas addition to a water plasma on the hydrogen production has been studied in a HF ICP tubular reactor. The main roles of $CH_4$ additive gas in $H_{2}O$ plasma are to react with 0 radical for forming $CO_x$ and CHO and resulting additional $H_2$ production. Furthermore, $CH_4$ additives in $H_{2}O$ plasma is to suppress reverse-reaction by scavenging 0 radical. But, process optimization is needed because $CH_4$ addition has some negative effects such as cost increase and $CO_x$ emission.