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Nanopatterned Surface Effect on the Epitaxial growth of InGaN/GaN Multi-quantum Well Light Emitting Diode Structure
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  • Nanopatterned Surface Effect on the Epitaxial growth of InGaN/GaN Multi-quantum Well Light Emitting Diode Structure
  • Nanopatterned Surface Effect on the Epitaxial growth of InGaN/GaN Multi-quantum Well Light Emitting Diode Structure
저자명
Kim. Keun-Joo
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2009년|10권 2호|pp.40-43 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The authors fabricated a nanopatterned surface on a GaN thin film deposited on a sapphire substrate and used that as an epitaxial wafer on which to grow an InGaN/GaN multi-quantum well structure with metal-organic chemical vapor deposition. The deposited GaN epitaxial surface has a two-dimensional photonic crystal structure with a hexagonal lattice of 230 nm. The grown structure on the nano-surface shows a Raman shift of the transverse optical phonon mode to $569.5;cm^{-1}$, which implies a compressive stress of 0.5 GPa. However, the regrown thin film without the nano-surface shows a free standing mode of $567.6;cm^{-1}$, implying no stress. The nanohole surface better preserves the strain energy for pseudo-morphic crystal growth than does a flat plane.