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다층 다공성 실리콘의 합성과 그 광학적 특성 조사
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  • 다층 다공성 실리콘의 합성과 그 광학적 특성 조사
저자명
김성기,Kim. Sung Gi
간행물명
조선자연과학논문집
권/호정보
2009년|2권 1호|pp.45-49 (5 pages)
발행정보
조선대학교 기초과학연구원
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electrochemical etching of heavily doped p-type silicon wafers (boron doped, <100> orientation, resistivity; $0.8-1.2m{Omega}/cm$) with different current density resulting two different refractive indices resulted in DBR (Distributed Bragg Reflectors) porous silicon, which exhibited strong in-plane anisotropy of refractive index (birefringence). Dielectric stacks of birefringent porous silicon acting as distributed Bragg reflectors have two distinct reflection bands depending on the polarization of the incident linearly polarized light. This effect is caused by a three-dimensional (in plane and in depth) variation of the refraction index. Optical characteristics of DBR porous silicon were investigated.