- 유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황
- ㆍ 저자명
- 권득철,윤남식,Kwon. D.C.,Yoon. N.S.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|18권 3호|pp.151-163 (13 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
유체 모델을 기반으로 하는 국내의 유도 결합 플라즈마원의 시뮬레이터 개발 현황을 정리하였다. 전체 시뮬레이터를 구성하는 각 부분으로서, 전자 가열, 하전 입자 및 중성종 수송, sheath를 포함한 표면 반응, 그리고 GUI (Graphic User Interface) 및 전후처리기 등의 순으로 설명되었다. 현재까지 시뮬레이터에 구현된 화학 반응 데이터와 swarm 데이터도 정리하여 보았고, 앞으로의 개발 방향을 전망하여 보았다.
The domestic development status of Inductively Coupled Plasma (ICP) simulator which is based on fluid model is explained. As each part which composes the unified simulator, electron heating module, charged and neutral particle transport module, surface reaction module including a sheath model, and GUI (Graphic User Interface) with pre- and post-processors are described in order. Also, we present data base status of chemical reaction and physical collision, which has been applied to the recently developed simulator until now. Lastly, some future plans of development are suggested.