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진공증착법으로 제조된 PVDF 유기박막의 초음파 응답 특성에 관한 연구
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  • 진공증착법으로 제조된 PVDF 유기박막의 초음파 응답 특성에 관한 연구
저자명
박수홍,Park. Soo-Hong
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2009년|18권 3호|pp.221-228 (8 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 논문의 목적은 진공증착법을 이용한 $eta$-PVDF($eta$-Polyvinylidene fluoride) 유기 박막의 제조와 제조된 유기 박막의 초음파 응답 특성을 연구하는데 있다. 진공 증착은 증발원 온도 $270^{circ}C$, 인가 전계 142.4kV/cm, 진공도 $2.0{ imes}10^{-5}Torr$에서 실시하였다. 기판온도의 증가에 따라서 결정화도는 47%에서 67.8%로 증가함을 알 수 있었다. 초음파 응답특성에서 거리를 1cm에서 100cm로 변화시켰을 경우, 출력전압은 0.615V에서 0.4V로 감소하였다.

기타언어초록

The purpose of this paper is to discuss the fabrication of $eta$-PVDF($eta$-Polyvinylidene fluoride, $eta$-PVF2) organic thin films through the vapor deposition method and to investigate the ultrasonic response properties of the organic thin films produced. Vapor deposition was performed under the following conditions : the temperature of evaporator, the applied electric field and the pressure of reaction chamber were $270^{circ}C$, 142.4 kV/cm and $2.0{ imes}10^{-5};Torr$, respectively. The results showed that the degree of crystallinity increased from 47% to 67.8% with an increase in the substrate temperature. In the case of a sensor response characteristic by varying the distance from 1cm to 100cm, the output voltage decreased from 0.615V to 0.4V.