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Design and analysis of a twisting-type thermal actuator for micromirrors
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  • Design and analysis of a twisting-type thermal actuator for micromirrors
  • Design and analysis of a twisting-type thermal actuator for micromirrors
저자명
Kim. Dong-Hyun,Oh. Kyung-Su,Park. Seung-Ho
간행물명
Journal of mechanical science and technology
권/호정보
2009년|23권 6호|pp.1536-1543 (8 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper reports the design of a novel twisting-type micromirror actuation system. The actuating mechanism for driving the micromirror combines two paralleled bimorph actuators bending in opposite directions for rotational control of the micromirror. Each actuator is structured by gold and silicon dioxide or nickel and silicon nitride thin films with embedded polysilicon line heaters. With a size of only $15{mu}m$ in width, $1.3{mu}m$ in thickness, and $100{mu}m$ in length, two bimorph actuators can result in a vertical displacement of $25{mu}m$ at 10 volts dc with the span of $120{mu}m$, and thus the micromirror can rotate by angles over $20^{circ}$, which is a significant improvement, compared to conventional tilting-type micromirrors.