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유연 힌지를 이용한 초정밀 3자유도 병렬 매니퓰레이터 개발
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  • 유연 힌지를 이용한 초정밀 3자유도 병렬 매니퓰레이터 개발
저자명
신동익,김영수,서승환,한창수,최두선,황경현,Shin. Dong-Ik,Kim. Young-Soo,Suh. Seung-Whan,Han. Chang-Soo,Choi. Doo-Sun,Whang. Kyung-Hyun
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2009년|26권 7호|pp.127-133 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present a $3-{underline{P}}RS$ compliant parallel manipulator actuated by PZTs. The motion ranges are $400-{mu}m$ translation to the z-direction and 5.7-mrad rotation about any axis on the x-y plane. A mechanical amplifier whose advantage is approximately 5.5 is designed and integrated with flexure revolute and spherical joints in a monolithic way. We evaluated the performance of the system: kinematic and dynamic characteristics. In kinematic point of view, the flexures play the roles of conventional mechanism but any nonlinearity such as dead-zone and backlash, which make it possible to achieve the steady-state resolution less than $0.1{mu}m$. The system shows resonance near 86 Hz with high magnitude and, therefore, poor transient response. But the settling is faster when the flexures are strained higher.