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공증발과 열산화로 제조한 Ag-CuO-SnO2 박막에서 미세조직과 CO 가스 감지특성
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  • 공증발과 열산화로 제조한 Ag-CuO-SnO2 박막에서 미세조직과 CO 가스 감지특성
저자명
지인걸,한규석,오재희,고태경,Ji. In-Geol,Han. Kyu-Suk,Oh. Jae-Hee,Ko. Tae-Gyung
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2009년|46권 4호|pp.429-435 (7 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, we investigated microstructure and the CO gas sensing properties of Ag-CuO-$SnO_2$ thin films prepared by co-evaporation and subsequently thermal oxidation at air atmosphere. The sensitivity of a Cu-Sn films, thermally oxidized at $600^{circ}C$, is strongly affected by the amount of Cu. At Cu:7 wt%-Sn:93 wt%, the film exhibited a maximum sensitivity of ${sim}2.3$ to CO gas of 1000 ppm at $300^{circ}C$. In contrast, the sensitivity of a Sn-Ag film did not change significantly with the amount of Ag. An enhanced sensitivity of ${sim}3.7$ was observed in the film with a composition of Ag:3 wt%-Cu:4 wt%-Sn:93 wt%, when thermally oxidized at $600^{circ}C$. In addition, this thin film shows a response time of ${sim}80$ sec and a recovery time of ${sim}450$ sec to 1000 ppm CO gas. The results demonstrate that the CO sensitivity of the Ag-CuO-$SnO_2$ thin films may be closely associated with coexistence of $SnO_2$ and SnO phase, decrease in average particle size, and a porous microstructure. We also suggest that co-evaporation and followed by thermal oxidation is a very simple and effective method to prepare oxide gas sensor thin films.