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마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
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  • 마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
저자명
김동현,박용철,박승호,권오명,최영기,이준식,Kim. Dong-Hyun,Park. Yong-Chul,Park. Seung-Ho,Kwon. Oh-Myoung,Choi. Young-Ki,Lee. Joon-Sik
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
권/호정보
2009년|33권 10호|pp.803-810 (8 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Micromirrors have a wide range of applications such as optical switches, laser scanners, and digital projection displays. Due to their low performances and high costs, however, practical applications of micromirrors are quite limited. At present micromirrors demand not only a better design but also a simple fabrication process. In this study a twisting-type micromirror that can be driven by two thermal bimorph actuators bending in opposite directions is designed from electro-thermo-mechanical theories and fabricated through a simple MEMS process. Each actuator consists of $SiO_2$ and gold thin-film layers. Simplified analytical model has been built to optimize the performance of micromirror. Due to unexpected resistance increase of metal film and alignment mismatch during fabrication process, experimental rotation angles of micromirrors are about $11^{circ}$ at applied voltages less than 0.6V. From numerical simulation and analytical studies, however, the next design can provide rotation angles over $20^{circ}$ at the same applied voltage.