본 연구에서는 전자산업에서 주로 사용되는 invar 강판재료를 식각한 후 생성되는 $FeCl_2$을 $FeCl_3$로 환원하여 회수한 후 재사용하기 위한 식각액 재생공정에서 $FeCl_3$의 회수 농도와 재생공정의 단수와의 관계를 규명하고 원하는 $FeCl_3$ 회수 농도를 얻기 위한 공정의 최적단수를 얻어낼 수 있는 simulation program을 개발하였다. 이 프로그램을 위한 여러 가지 parameter는 pilot 실험을 통해 얻었다. 개발된 프로그램에 의한 공정 모사는 폐액의 발생량 및 처리비용을 극소화할 수 있다. 또한 개발된 프로그램은 원하는 $FeCl_3$의 농도를 얻기 위한 식각액 재생시스템의 최적단수와 공정시간을 계산할 수 있다. 개발된 프로그램은 실제 전자산업에서 식각액 재생 장치의 최적 용량 산정과 식각액 회수 시스템 최적단수 계산에 활용되었다.
In this study, we found out the relation between $FeCl_3$ recovering-concentration and stage number of extraction process for invar (Fe+Ni) etching process. In order to get the desired $FeCl_3$ recovering-concentration economically, we developed the simulation program for designing the optimal $FeCl_3$ extraction process. We got the key parameter for this simulation program through pilot scale experiments. The process simulation by the developed program could reduce the emission of waste etching solution as well as the treatment costs. In addition, the developed program could calculate the number of stage of the etchant recovering system and the process time to get the desired concentration of $FeCl_3$. This program was used to compute the optimal capacity of the etchant recovering system and applied to the optimization of the stage of the etchant recovering system in real IT industry.
