기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Electrically Enhanced Readout System for a High-Frequency CMOS-MEMS Resonator
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Electrically Enhanced Readout System for a High-Frequency CMOS-MEMS Resonator
  • Electrically Enhanced Readout System for a High-Frequency CMOS-MEMS Resonator
저자명
Uranga. Arantxa,Verd. Jaume,Lopez. Joan Lluis,Teva. Jordi,Torres. Francesc,Giner. Joan Josep,Murillo. Gonzalo,Abadal. Gabriel,Ba
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2009년|31권 4호|pp.478-480 (3 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

The design of a CMOS clamped-clamped beam resonator along with a full custom integrated differential amplifier, monolithically fabricated with a commercial 0.35 ${mu}m$ CMOS technology, is presented. The implemented amplifier, which minimizes the negative effect of the parasitic capacitance, enhances the electrical MEMS characterization, obtaining a $48{ imes}10^8$ resonant frequency-quality factor product ($Q{ imes}f_{res}$) in air conditions, which is quite competitive in comparison with existing CMOS-MEMS resonators.