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NiFeCr/(Cu/Co90Fe10)×N/NiFeCr 다층박막의 자기변형과 응력에 관한 연구
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  • NiFeCr/(Cu/Co90Fe10)×N/NiFeCr 다층박막의 자기변형과 응력에 관한 연구
저자명
조순철,Jo. Soon-Chul
간행물명
韓國磁氣學會誌
권/호정보
2010년|20권 1호|pp.8-12 (5 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$NiFeCr/(Cu/Co_{90}Fe_{10}){ imes}N/NiFeCr$ 다층박막의 자기변형과 응력에 관하여 연구하였다. Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ 이중층의 수가 증가할수록 포화자기변형상수가 2층에서 $-5.6 imes10^{-6}$로부터 20층에서 $-8.5 imes10^{-6}$으로 감소하였다. CoFe층의 두께가 10에서 $20{AA}$으로 증가되었을 때 포화자기변형상수의 크기가 약 $1 imes10^{-6}$ 만큼 감소하였다. Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ 이중층의 층수가 2에서 20으로 증가 되었을때 다층박막의 인장응력의 크기가 980 MPa에서 590 MPa로 감소하였다. 자기변형과 박막의 응력으로부터 형성될 수 있는 최대 자기변형이방성자장은 Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ 이중층의 수가 10일 때 135.7 Oe 이었다.

기타언어초록

The magnetostriction and stress of multilayer $NiFeCr/(Cu/Co_{90}Fe_{10}){ imes}N/NiFeCr$ films were investigated. As the number of Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ bilayers was increased, the saturation magnetostriction decreased from $-5.6 imes10^{-6}$ at 2 bilayers to $-8.5 imes10^{-6}$ at 20 bilayers. A change of CoFe thickness from 10 to $20{AA}$ caused a decrease in the magnitude of tensile stress from 980MPa to 590MPa as the number of Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ bilayers increased from 2 to 20. The maximum magnetostrictive anisotropy field that could be developed due to nonzero magnetostriction and stress is calculated to be 135.7 Oe when the number of Cu $15{AA}$/CoFe $15{AA}$ bilayers is 10.