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Device Optimization of N-Channel MOSFETs with Lateral Asymmetric Channel Doping Profiles
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  • Device Optimization of N-Channel MOSFETs with Lateral Asymmetric Channel Doping Profiles
  • Device Optimization of N-Channel MOSFETs with Lateral Asymmetric Channel Doping Profiles
저자명
Baek. Ki-Ju,Kim. Jun-Kyu,Kim. Yeong-Seuk,Na. Kee-Yeol
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2010년|11권 1호|pp.15-19 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we discuss design considerations for an n-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET) with a lateral asymmetric channel (LAC) doping profile. We employed a $0.35;{mu}m$ standard complementary MOSFET process for fabrication of the devices. The gates to the LAC doping overlap lengths were 0.5, 1.0, and $1.5;{mu}m$. The drain current ($I_{ON}$), transconductance ($g_m$), substrate current ($i_{SUB}$), drain to source leakage current ($i_{OFF}$), and channel-hot-electron (CHE) reliability characteristics were taken into account for optimum device design. The LAC devices with shorter overlap lengths demonstrated improved $I_{ON}$ and $g_m$ characteristics. On the other hand, the LAC devices with longer overlap lengths demonstrated improved CHE degradation and $I_{OFF}$ characteristics.