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Parameter Extraction Procedure for Ion Implantation Profiles to Establish Robust Database based on Tail Function
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  • Parameter Extraction Procedure for Ion Implantation Profiles to Establish Robust Database based on Tail Function
  • Parameter Extraction Procedure for Ion Implantation Profiles to Establish Robust Database based on Tail Function
저자명
Suzuki. Kunihiro,Kojima. Shuichi
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2010년|10권 4호|pp.251-259 (9 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We proposed a tail function parameter extraction procedure for the establishment of a robust ion implantation database. We showed that, for the expression of ion implantation profiles, there are many local minimum values set for the third and fourth moment parameters of $gamma$ and $eta$ for the Pearson function that comprises the standard dual Pearson and tail functions. We proposed the use of a joined tail function as a mediate function to extract $gamma$ and $eta$, and demonstrated that this enables us to extract the parameters uniquely. Other parameters associated with channeling phenomena can also be simply and uniquely extracted by our procedure.