- Extending the Pressure Limit for Turbomolecular Pump up to 133 Pa by using Conductance-Reducer and Measuring the Pressure Differences in Vacuum Chamber
- Extending the Pressure Limit for Turbomolecular Pump up to 133 Pa by using Conductance-Reducer and Measuring the Pressure Differences in Vacuum Chamber
- ㆍ 저자명
- 홍승수,와킬 칸,강상우,윤주영,신용현,Hong. S.S.,Khan. Wakil,Kang. S.W.,Yun. J.Y.,Shin. Y.H.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|19권 1호|pp.1-9 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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