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복합장 해석에 의한 전자력 구동방식의 마이크로미러 설계
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  • 복합장 해석에 의한 전자력 구동방식의 마이크로미러 설계
저자명
한승오,김병민,박정호,Han. Seung-Oh,Kim. Byoung-Min,Pak. Jung-Ho
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2010년|59권 2호|pp.380-384 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A micromirror for a laser display system actuated by the electromagnetic force induced by the surface coil and the permanent magnet was designed and analyzed through the coupled physics analyses incorporating the electromagnetics, mechanics, and electrothermal analysis because the mechanical rotation of the micromirror is driven by the electromagnetic driving force. The proposed micromirror has two torsion beams to sustain the mirror plate which has surface coils on the top and the two permanent magnets exists on both sides of the micromirror for an external magnetic field source. The designed micromirror has the resonant frequency of 3.82kHz. When the magnetic field of the permanent magnet is 0.4T, the coil has 4 turns, and the current density of coil is 3.6A/$mm^2$, the estimated z axis displacement of the mirror plate edge is 0.23mm which corresponds to the rotation angle of $14.2^{circ}$. When considering the joule heating in the current-carrying coil, the maximum temperature of the mirror plate is obtained as 300.045K, which induces the negligible changes in the rotation angle and the resistance of the coil.