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A Study on the Development of CVD Precursors VI-Thermal Properties of Co(III) β-Diketonates
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  • A Study on the Development of CVD Precursors VI-Thermal Properties of Co(III) β-Diketonates
  • A Study on the Development of CVD Precursors VI-Thermal Properties of Co(III) β-Diketonates
저자명
Lee. Han-Bin,Lee. Choong-Hyuk,Oh. In-Sook,Lee. Ik-Mo
간행물명
Bulletin of the Korean Chemical Society
권/호정보
2010년|31권 4호|pp.891-894 (4 pages)
발행정보
대한화학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Thermal properties of a series of Co $eta$-diketonates have been systematically investigated and it is found that tris(3,5-heptanedionato) cobalt(III) ($Co(hd)_3$) with the lowest melting point among them can be a better precursor than tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato cobalt(III) ($Co(tmhd)_3$), one of the most popular precursors to date, under suitable conditions. Isothermal TGA study shows that $Co(hd)_3$ would work better at higher temperature, while $Co(dmhd)_3$ would be a better precursor at lower temperature.