MEMS 기술의 향상과 함께 $mu$-TAS(Micro Total Analysis System)가 개발 되어 의료 및 생물학 분야가 급속하게 성장했다. $mu$-TAS의 한 분야로 Chip 위에서 소량의 sample과 반응물을 가지고 혼합공정과 분석공정이 이루어지는 LOC(Lab on a chip)에 관한 연구는 활발하게 연구되어진다. LOC는 마이크로 펌프 와 마이크로 믹서와 같은 microfluidic 장치들로 구성된다. Microfluidic 시스템의 유동이 층류 유동이므로 유체상태의 반응물들을 효율적으로 혼합하고 공급하는 것이 어렵다. 본 논문은 이송 및 혼합이 동시에 이루어지는 MHD micropump의 설계와 제작에 관해 제시하였다. 최종 개선사양은 상용 CFD 프로그램의 해석결과를 통하여 결정하였다.
With the development of micrototal analysis systems (${mu}TAS$), which is a result of enhancement of MEMS technology, rapid progress has been achieved in medical and biological research. The study of lab-on-a-chip (LOC) devices, which are types of ${mu}TAS$ and which integrate the functions of mixing and analyzing tiny amounts of samples and reagents on one chip, has actively progressed. An LOC comprises microfluidic components such as micromixers and micropumps. Because the flow in a microfluidic system is generally laminar, it is very difficult to efficiently mix and feed fluid reagents. This paper presents the design and the method of fabrication of an MHD micropump for mixing fluids. By using this micropump, fluids are simultaneously mixed and pumped; this is achieved by coupling the Lorentz force and force exerted by an electric charge moving in an electric field.
