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P형 우물 영역의 도핑 농도와 면적에 따른 4H-SiC 기반 DMOSFET 소자 구조의 최적화
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  • P형 우물 영역의 도핑 농도와 면적에 따른 4H-SiC 기반 DMOSFET 소자 구조의 최적화
저자명
안정준,방욱,김상철,김남균,정홍배,구상모,Ahn. Jung-Joon,Bahng. Wook,Kim. Sang-Chul,Kim. Nam-Kyun,Jung. Hong-Bae,Koo. Sang-Mo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2010년|23권 7호|pp.513-516 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, a study is presented of the static characteristics of 4H-SiC DMOSFETs obtained by adjustment of the p-base region. The structure of this MOSFET was designed by the use of a device simulator (ATLAS, Silvaco.). The static characteristics of SiC DMOSFETs such as the blocking voltages, threshold voltages, on-resistances, and figures of merit were obtained as a function of variations in p-base doping concentration from $1;{ imes};10^{17};cm^{-3}$ to $5;{ imes};10^{17};cm^{-3}$ and doping depth from $0.5;{mu}m$ to $1.0;{mu}m$. It was found that the doping concentration and the depth of P-base region have a close relation with the blocking and threshold voltages. For that reason, silicon carbide DMOSFET structures with highly intensified blocking voltages with good figures of merit can be achieved by adjustment of the p-base depth and doping concentration.